вид  
16 Сентября 2026г, Среда€ — 97.3012,  $ — 84.2362загрузить приложение Armtorg.News для Андроидзагрузить приложение Armtorg.News для iphone
ПОИСК
Закрыть
  3. VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013
Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.


Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.

Смотрите также:
НПО АСТА. Итоги полугодия 2026 года НПО АСТА. Итоги полугодия 2026 года
В апреле 2026 года НПО АСТА выпустило на рынок новую экономичную линейку оборудования для пароконденсатных систем под названием
С 10 по 13 ноября в Санкт-Петербурге состоится 32-я Международная промышленная выставка «Металл-Экспо» С 10 по 13 ноября в Санкт-Петербурге состоится 32-я Международная промышленная выставка...
С 10 по 13 ноября 2026 года в Санкт-Петербурге, на площадке современного Конгрессно-выставочного центра «Экспофорум», пройдет 32-я Международная промышленная выставка «Металл-Экспо».
Клиновая задвижка с обрезиненным клином ДЕНДОР 47GV.M включена в Реестр российской промышленной продукции Клиновая задвижка с обрезиненным клином ДЕНДОР 47GV.M включена в Реестр российской...
Модернизированная клиновая задвижка с обрезиненным клином ДЕНДОР 47GV.M производства АО «ЭНЕРГИЯ» официально включена в Реестр
Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)

Сборник статей Кима Миргаязова

Сборник статей Кима Миргаязова

«Моя жизнь и арматура»

Книга Олега Шпакова «Моя жизнь и арматура» жизнь автора от рождения...

Запорные клапаны на высокие параметры эксплуатации. Исследования и проектирование

Приведенные в книге результаты исследований позволили разработать р...