13 Ноября 2018г, Вторник€ — 75.8076,  $ — 66.8497загрузить приложение Armtorg.News для Андроидзагрузить приложение Armtorg.News для iphone

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013

Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.


Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.


Смотрите также:
Мария Володченко. Эссе участниц второго этапа «Lady арматуростроения – 2018» Мария Володченко. Эссе участниц второго этапа...
Здравствуйте, дорогие друзья! В понедельник - в новый бой! Сегодня свое эссе для конкурса «Lady арматуростроения – 2018» представит Мария...
ООО «Торговый Дом АДЛ». Интервью со старшим инженером Леонидом Рыжовым с выставки ЭКВАТЭК – 2018 ООО «Торговый Дом АДЛ». Интервью со старшим...
Дорогие друзья! Мы продолжаем публиковать для вас интересные и, вместе с этим, уникальные беседы с представителями известных компаний...
Производственную площадку МК «Сплав» посетила делегация представителей «Росатома» Производственную площадку МК «Сплав» посетила...
ПАО «Контур», основную производственную площадку МК «Сплав», с официальным визитом посетила делегация представителей Госкорпорации...
Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)