VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013

Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.

Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.

Смотрите также:

Фото недели: Медиагруппа ARMTORG на X Петербургском международном газовом форуме

В рамках рубрики «Фото недели» сегодня предлагаем к просмотру фотографии по итогам участия медиагруппы ARMTORG в X Петербургском международном газовом форуме.

«РЭП Холдинг» подвел итоги участия в Петербургском международном газовом форуме

«РЭП Холдинг» подвел итоги участия в Петербургском международном газовом форуме, который состоялся с 5 по 8 октября. На мероприятии компания демонстрировала свое оборудование совместно с ООО «ГЭХ Сервис газовых турбин».

«Экс-Форма» подтвердила соответствие клапанов требованиям системы сертификации ГАЗСЕРТ

Предприятие «Экс-Форма» подтвердило соответствие выпускаемых клапанов требованиям системы сертификации ГАЗСЕРТ, что позволило продлить сертификат на новый срок действия.

Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)