вид  
4 Июля 2025г, Пятница€ — 93.1277,  $ — 78.7831загрузить приложение Armtorg.News для Андроидзагрузить приложение Armtorg.News для iphone

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013
Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.


Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.


Смотрите также:
Медиагруппа ARMTORG. Вентиль донный Медиагруппа ARMTORG. Вентиль донный
Уважаемые читатели, предлагаем вашему вниманию следующую разработку из рубрики «Обзор патентов» – вентиль донный
Компания НПО АСТА запустила серийное производство универсальных линейных электроприводов АСТА ЭПР/ЭПА Компания НПО АСТА запустила серийное производство универсальных линейных...
Разработка и подготовка к производству электроприводов осуществлялась более двух лет. При проектировании был сделан упор на надежность, точность и функциональность.
Проект конструкторов «ОКБМ Африкантов» признан лауреатом премии имени И.П. Кулибина Проект конструкторов «ОКБМ Африкантов» признан лауреатом премии имени И.П. Кулибина
Конкурс организован министерством промышленности, торговли и предпринимательства Нижегородской области.

Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)