вид  
14 Мая 2026г, Четверг€ — 85.9017,  $ — 73.3420загрузить приложение Armtorg.News для Андроидзагрузить приложение Armtorg.News для iphone
ПОИСК
Закрыть
  3. VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013
Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.


Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.

Смотрите также:
Выпуск журнала «Вестник арматуростроителя» № 3(96) доступен для скачивания! Выпуск журнала «Вестник арматуростроителя» № 3(96) доступен для скачивания!
Медиагруппа ARMTORG представляет вашему вниманию электронную версию третьего выпуска журнала «Вестник арматуростроителя». В интервью номера представлена беседа
М. Морозов, медиагруппа ARMTORG. Состояние индийского рынка арматуры М. Морозов, медиагруппа ARMTORG. Состояние индийского рынка арматуры
Актуальность данной темы в 2026 году обусловлена глобальными изменениями в энергетических цепочках, где стремление Индии к энергетической
Проект КОНАРа стал победителем III Всероссийской премии «Вершина» в номинации «Лучший проект в сфере образования» Проект КОНАРа стал победителем III Всероссийской премии «Вершина» в номинации «Лучший...
Награды были вручены 29 апреля в МВЦ «МинводыЭкспо» на торжественной церемонии в рамках Кавказского инвестиционного форума.
Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)

Сборник статей Кима Миргаязова

Сборник статей Кима Миргаязова

«Моя жизнь и арматура»

Книга Олега Шпакова «Моя жизнь и арматура» жизнь автора от рождения...

Запорные клапаны на высокие параметры эксплуатации. Исследования и проектирование

Приведенные в книге результаты исследований позволили разработать р...