Swagelok представила новый клапан ALD20 с повышенной пропускной способностью

Поставщик решений для жидкостных и газовых систем Swagelok представил новый клапан ALD20 сверхвысокой степени чистоты для областей применения с высоким расходом.

С момента выпуска технологии напыления с точностью до атомного слоя (ALD) компания Swagelok ведет работу с производителями полупроводниковых инструментов и микросхем для обеспечения высокой производительности.

На сегодняшний день клапан ALD20 является последним результатом данного сотрудничества, предоставляющим гибкость для экспериментирования с химическими составами с низким давлением пара.

Конструкция обновленного изделия максимально повышает эффективность производственного процесса и единообразие осаждения за счет обеспечения коэффициентов расхода в два-три раза выше в сравнении с теми, которые возможны с используемой сегодня стандартной клапанной технологией ALD. Продукт способен обеспечить расход до Cv=1,2 при таких же размерах (1,5 дюйма (38,1 мм)) в сравнении с существующими клапанами ALD, что дает возможность увеличить производительность без переналадки действующего оборудования или внесения дополнительных изменений в техпроцесс.

Другой стандартный вариант исполнения клапана ALD20 несколько большей ширины (1,75 дюйма (44,5 мм)) обеспечивает еще более высокий расход до Cv=1,7. Помимо этого, есть возможность установки коэффициентов расхода по усмотрению клиента. Клапан ALD20 может быть полностью погружен в газовую камеру при температуре от 50 °F (10 °C) до 392 ºF (200 ºC), повышая тем самым термостабильность и однородность осаждения. 

Кроме того, он имеет корпус из нержавеющей стали 316L VIM-VAR или сплава 22, что обеспечивает повышенную коррозионную стойкость при использовании в агрессивных средах, а также сильфоны с зеркальной полировкой Ra 5 микродюймов (0,127 мкм) для чистой работы с целью поддержания долгосрочной целостности техпроцесса.

«Клапан ALD20 является прямым ответом на быстро меняющиеся потребности полупроводниковой отрасли. Благодаря сотрудничеству с ведущими предприятиями отрасли с опорой на глубокие инженерные знания жидкостных и газовых систем мы с удовольствием объявляем о выпуске изделия, позволяющего заказчикам эффективно использовать химические составы газовых прекурсоров, которые ранее могли считаться слишком проблематичными или дорогими для использования. Они могут  иметь важнейшее значение для разработки технологии производства микросхем нового поколения», – отметил директор Swagelok по маркетингу продукции для полупроводниковой отрасли  Гаррик Джозеф.

Клапан ALD20 доступен в модульных конфигурациях для монтажа на поверхность с двумя или тремя отверстиями, в прямых конфигурациях с торцевым соединением под приварку встык и торцевыми соединениями в виде фитингов с торцевым уплотнением VCR® с внутренней и наружной резьбой, а также в конфигурациях многоходового клапана для оптимизации схемы движения потока в существующих или новых системах. В качестве дополнительного компонента также предлагается высокотемпературный оптический датчик положения.

Ранее на портале была опубликована статья из седьмого номера журнала «Вестник арматуростроителя», в которой руководитель отраслевого направления «Нефть и газ. Добыча на море, СПГ» Swagelok Россия (ООО «ФСТ Рус») Сергей Бондаренко рассказал об инженерных комбинациях материалов для обвязки датчиков и приборов КИП в условиях морского климата.

Кроме того, медиагруппа ARMTORG предлагает к просмотру интервью с Сергеем Бондаренко в рамках «ПМГФ-2019»: