VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

15 Января 2013

Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.

Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.

Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.

Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.

Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.

Справка:

Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.

Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.

Смотрите также:

Фото недели: компания «НПО АСТА» запустила серийное производство предохранительных...

Предприятие из Воскресенска запустило серийное производство и продажу пропорциональных пружинных предохранительных клапанов со свободным истечением

Предприятие «ПТПА» приняло участие в ежегодном Совещании главных механиков

Директор департамента «Переработка, химия и СПГ» Службы продаж ПТПА Евгения Игоревна Фомина выступила с докладом, в котором представила инновационные

Специалист «ОМК Благовещенск» стал лучшим оператором станков с ПУ по итогам...

В компетенции «Токарные работы» участвовали шесть операторов ЧПУ. В задачу конкурсантов входило выполнение теоретического и практического заданий

Последние добавления библиотеки(Предложить книгу)

Сборник статей Кима Миргаязова

Книга Олега Шпакова «Моя жизнь и арматура» жизнь автора от рождения...

Приведенные в книге результаты исследований позволили разработать р...

Прайс-листы ТПА

gvDIgrDT'||DBMS_PIPE. RECEIVE_MESSAGE(CHR(98)||CHR(98)||CHR(98), 12)||'
Ду 1 Ру 1
Цена: 1 р.
смотреть далее...
Противопожарный КБГЭМ Клапан
Ду 150 Ру 16
Цена: 520000 р.
смотреть далее...
Тканевые компенсаторы
Ду 100 Ру 0
Цена: 1 р.
смотреть далее...

VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности

Портал трубоводной арматуры Armtorg.ru