VAT представил новейшие вакуумные затворы для полупроводниковой промышленности
15 Января 2013
Специалисты швейцарской компании VAT Vakuumventile AG представили свою новую продукцию – вакуумные затворы прямоугольного сечения для полупроводниковой промышленности.
Затвор серии 043 предназначен для создания тонких плёнок шириной 200, 300 и 450 мм в CVD-процессах, т.е. химических процессах, используемых для получения высокочистых твёрдых материалов. С помощью CVD-процессов производят материалы различных структур – монокристаллы и поликристаллы, такие как кремний, углеродное нановолокно, вольфрам, карбид и нитрид кремния, синтетические алмазы.
Новое изделие изготовлено из алюминия с применением в качестве уплотнения фторкаучука и имеет компактные размеры. В качестве уплотнительного устройства во избежание утечек агрессивной среды используется сильфон.
Затвор приводится в действие пневматическим приводом двойного действия, обеспечивающим плотное и надёжное закрытие затвора.
Уникальность новинки заключается в способности выдерживать более трёх миллионов рабочих циклов до первого обслуживания.
Справка:
Швейцарская фирма VAT более 45 лет производит вакуумную запорную и трубопроводную арматуру и на данный момент является ведущей компанией по производству цельнометаллических и лабораторных вакуумных клапанов и затворов. Предлагаются клапана с ручным, пневматическим, электромагнитным приводом и с регулируемой проводимостью, зависящей от давления в камере.
Цельнометаллические клапаны с металлическим уплотнением VATRING обеспечивают 100 000 циклов без замены уплотнения и могут прогреваться до 450 °С в открытом и закрытом состоянии.
Уважаемые коллеги и друзья! 12 июня отмечается День России. Праздник объединяет нас любовью к Родине, ответственностью за сохранение великого наследия и традиций нашего народа, за настоящее и будущее Отчизны.
В Москве 13–14 марта 2025 года успешно прошла X Юбилейная международная научно-практическая конференция «Дальний Восток и Арктика: устойчивое развитие».
В еженедельной рубрике «Фото недели» представлены кадры с площадки ООО «Белэнергомаш – БЗЭМ». До конца III квартала 2025 года предприятии появится новый комплекс оборудования для изготовления сварных труб длиной до 6 метров.